污泥、油泥焚燒裝置將油泥污泥視含水率先干燥再焚燒，利用高溫將油泥污泥中的有機物破壞，生成CO2和水，污泥中的無機物以灰渣的形式排出。高溫煙氣可以余熱回收，煙氣中的酸性氣體如HCl、SO2及NOX進行脫酸脫硝處理，煙氣中的重金屬及二惡英被活性碳吸附，在布袋除塵器中被捕集，收集后安全填埋。